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Festkörperphysik » Kristallographie » (411) Ebenen am schnellsten geätzt
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Universität/Hochschule J (411) Ebenen am schnellsten geätzt
Wirkungsquantum
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  Themenstart: 2019-02-22

Hallo, in meinem Skript steht: "Konvexe Ecken werden am schnellsten geätzt, da die Atome keine 3 verbleibenden Bindungen mit dem Siliciumkristall besitzen. Es kommt zur Bildung von schnellätzenden (411) Ebenen." Wie ist das gemeint mit "keine 3 Bindungen in den Kristall? Und wieso werden (411) Ebenen am schnellsten geätzt? Danke im Voraus. Grüße, h

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Wirkungsquantum
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  Beitrag No.1, vom Themenstarter, eingetragen 2019-02-27

Keiner eine Idee?

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Berufspenner
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  Beitrag No.2, eingetragen 2019-02-27

Moin, ich bin nicht mehr ganz so fit in der Thematik wie noch im Studium. Allerdings kommt es beim nasschemischen Ätzen darauf an, ob man ansiotrop mit verschiedenen stark alkalischen Lösungen oder isotrop nach vorheriger Oxidation zu SiO2 ätzt. Beim anisotropen Ätzen spielen für die verschiedenen Gitterebenen die unterschiedlichen Aktivierungsenergien eine entscheidende Rolle. Ein Bild zur (411)-Ebene im Siliziumkristall würde sicher sehr hilfreich sein. Ich finde aber keins. Offenbar liegen sie aber so, dass die sonst vierfach kovalent gebundenen Si-Atome an der Oberfläche dieser Ebenen nur noch einfach gebunden sind. Dadurch sinkt die notwendige Aktivierungsenergie entsprechend und es kommt zu einer hohen Ätzrate.

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Wirkungsquantum
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  Beitrag No.3, vom Themenstarter, eingetragen 2019-03-02

Hallo, das macht Sinn, danke für die Hilfe.

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Wirkungsquantum hat die Antworten auf ihre/seine Frage gesehen.
Wirkungsquantum hat selbst das Ok-Häkchen gesetzt.

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